DUV/EUV(表面改質、親水化)

DUV Lamp是254nm和185nm波長的紫外線，EUV LAMP是172nm波長的紫外線，主要應用於乾洗淨製程上，去除被照射物表面之有機物質。大部分的有機物的化學性結合能量都低於這個值，所以，照射DUV/EUV後，能夠切斷有機物的結合，而被照射的有機物就會產生游離基和激發狀態分子，被照射物表面就具有親水性了。