• ￭適合多成分的化學藥液。
• ￭最多可量測八種成分，實現即時高精度監測。
• ￭無須試劑並降低成本。
• ￭即插即用，易於安裝。

• ￭依據本體的輕量化，實現更活用的空間規劃：比起CS-100F1系列產品更顯輕巧，高度減少36%，體積減少40%，核心Cell部减少46%。並且光源部分及濃度計本體為可分離裝設的設計，供給藥液部分及清洗設備的空間可更靈活的調整安裝位置。
• ￭可對應高溫藥液(20 ~ 80℃)，穩定測量：依據光學式的進展與演算處理的改良，實現了直接量測最前端濕製程不可或缺的高溫化學藥液。客戶端不須額外的冷卻系統，能夠量測較不穩定的高溫藥液，進而實現更有效率、更高精度的化學藥液管理。
• ￭大幅降低背景校正頻率：相較於CS-100F1系列，此機型大幅降低背景定期校正頻率，可減少停機時間。對於產能的提升也有很大的貢獻。
• ￭一台濃度計至多可量測六種化學藥液(或範圍)：一台濃度計至多可量測六種化學藥液(或範圍)，客製化對應欲量測之藥液種類及範圍，能夠符合廣泛應用的監控需求。
• ￭最多可輸出六種成分的濃度值：相較於CS-100F1系列的四種濃度值輸出，CS-600F可支援最多六種成分的濃度值訊號輸出。

• ￭通過連續測量藥液可優化製程
• ￭增加藥液的使用壽命以減少消耗量
• ￭減少批次缺陷以提升產品產能

• ￭實際濃度追蹤
• ￭全自動連續測量
• ￭小型輕量化設計
• ￭低溫/高溫藥液對應皆可
• ￭除去生成物的影響

其他化學藥液及應用請與我們聯繫。

• ￭一台濃度計最多可量測四種藥液或範圍：一台濃度計中最多可儲存四種校正係數(藥液或範圍)，可以監測單槽或枚葉式等批次清洗設備中多重藥液(或者不同的藥液配比)的濃度。
• ￭量測週期約3秒，300mm 製程的濃度管理：以大約三秒的極短周期實現高速量測。適用於多槽/單槽/枚葉式清洗設備的精細濃度管理。
• ￭即時濃度量測。適用於更高精度需求的Cell Unit Type：透過可直接將Inline Cell組裝到清洗裝置主配管上的濃度計，實行即時在線濃度量測。此外，重視穩定性的Cell Unit Type濃度計也可以 對應濃度回饋控制。並且能夠保持在藥液濃度值的允許範圍內，可以避免不必要的藥液更換工作。
• ￭輕便小巧的設計節省清洗設備的空間：與原系列產品相比體積小了2/3的設計，對於節省洗淨設備的空間富有貢獻。除了能輕易的組裝至洗淨設備，因為輕量化也能設置於洗淨設備之上方空間。
• ￭藉由將電氣部及測量部分離以提升安全性：使用光纖傳輸光源信號，可實現將濃度計與核心Cell完全分離的設置型態。由於能將濃度計設置在藥液環境之外，不須擔心造成腐蝕等現象。
• ￭減少清洗製程中的批次不良以提高產能：透過輸出訊號，進行各成分藥液的補酸控制，實行高再現性的表現。減少清洗製程中的批次不良，有利於產能的提升。

• ￭量測氫氟酸濃度、塩酸濃度、氨水濃度、導電率及溫度五種數值。
• ￭支援類比訊號輸出可任意設定濃度量測範圍。

• ￭高精度的溫度補償： 溫度補償元件中採用白金測溫電阻體(Pt1000Ω)
• ￭可以任意設定標準溫度： 由於可以任意設定溫度補償的標準溫度，可檢測溫純水等配合不同製程條件設定。
• ￭完善的公司內部校正設備： 透過具有可追蹤性的感應器進行校正後才出貨，並建置可現場校正的支援體制及核發校正證書以進行認證等等的售後服務。

• ￭高精度：再現性 ±0.003wt%以内
• ￭量測範圍廣
• ￭濃度：0-3%、導電率：0-1000 mS/cm
• ￭自動切換顯示範圍
• ￭可量測三種類型:TMAH濃度、導電率以及溫度
• ￭使用耐化學品的碳感應器
• ￭DC24V電源
• ￭RoHS認證