氣體質量流量控制器(MFC)

HORIBA-STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客户不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有廣泛的流量範圍，客户可選擇最適合的類型。客户可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣也可提供多種不同的通訊方式，包括類比式、數位式、DeviceNet, 以及PROFIBUS(取決於產品型號)。產品的流量範圍可從微量流量直至超大流量。